电子束沉积TiAl合金的微观形貌及组织结构稳定性.pdf

第４４卷２０１６年１月第１期—第８９９５页材料工Ｊｏｕｒｎａ１ｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓ程ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＶｏ１．４４Ｎｏ．１——Ｊａｎ．２０１６ＰＰ．８９９５电子束沉积ＴｉＡＩ合金的微观形貌及组织结构稳定性—ＭｉｃｒｏｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅＳｔａｂｉｌｉｔｙｏｆＴｉＡ１ＡｌｌｏｙＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＢｅａｍ马李，何录菊，邵先亦，王古平，张梦贤（１广东石油化工学院机电工程学院，广东茂名５２５０００；２哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所，哈尔滨１５０００１；３广东石油化工学院教育信息技术中心，广东茂名５２５０００；４台州学院物理与电子工程学院，浙江台州３１８０００）———ＭＡＬｉ，ＨＥＬｕｊｕ。，ＳＨＡ０Ｘｉａｎ－ｙｉ，ＷＡＮＧＧｕｐｉｎｇ，ＺＨＡＮＧＭｅｎｇｘｉａｎ（１ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＧｕａｎｇｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｍａｏｍｉｎｇ５２５０００，Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ，Ｃｈｉｎａ；２ＣｅｎｔｅｒｆｏｒＣｏｍｐｏｓｉｔｅＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ；３ＥｄｕｃａｔｉｏｎａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｅｎｔｅｒ，ＧｕａｎｇｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｍａｏｍｉｎｇ５２５０００，Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ，Ｃｈｉｎａ；４ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＰｈｙｓｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴａｉｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｔａｉｚｈｏｕ３１８０００，Ｚｈｅｊｉａｎｇ，Ｃｈｉｎａ）摘要：利用大功率电子束物理气相沉积设备，采用单靶蒸镀方法制备厚度为０．３ｍｍ的自由态ＴｉＡ１合金板，并对制备态℃样品进行不同温度（６５０￣９５０）的真空退火处理。借助ｘ射线衍射仪、扫描电子显微镜及透射电子显微镜分析退火处理对相组成及微观组织结构的影响。结果表明：Ｔｉ，Ａ１元素饱和蒸气压的差异导致富Ｔｉ成分区和富Ａｌ成分区沿板材截面呈现交替变化，其组成相为一Ｔｉ。Ａ１，７－ＴｉＡ１和ｒＴｉＡ１ｚ；在６５ｏ￣９５ｏ￣Ｃ温度区间退火２４ｈ后，由于Ａｌ向Ｔｉ中扩散，呈现明显的界面融混和晶粒粗化，导致有序相含量的降低，其层状结构的退化受到孔洞形成、晶粒长大以及层间吞噬的影响。关键词：电子束物理气相沉积；ＴｉＡｌ合金；饱和蒸气压；微观形貌；结构稳定性—ｄｏｉ：１０．１１８６８／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１４３８１．２０１６．０１．０１４中图分类号：ＴＧ１４６文献标识码：Ａ———文章编号：１００１４３８１（２０１６）０１００８９０７—Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＡｆｒｅｅｓｔａｎｄｉｎｇＴｉＡ１ｂａｓｅｄａｌｌｏｙｔｈｉｎｓｈｅｅｔｗｉｔｈｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ０．３ｍｍｗａｓｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｓｉｎｇｌｅ———ｓｏｕｒｃｅｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｗｉｔｈｈｉｇｈｐｏｗｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｐｈｙｓｉｃａｌｖａｐｏｕｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＥＢＰＶＤ）——℃—ｓｖｓｔｅｍ，ａｎｄｔｈｅｎｔｈｅａｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄｓａｍｐｌｅｓｗｅｒｅａｎｎｅａｌｅｄｉｎｖａｃｕｕｍａｔ６５０９５０．Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆａｎ—ｎｅａｌｉｎｇ０ｎｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔｒＵＣｔｕｒｅａｎｄｐｈａｓｅｃｏｎｓｔｉｔｕｔｉｏｎｏｆＴｉＡｌｂａｓｅｄａｌｌｏｙｗａｓｓｔｕｄｉｅｄｗｉｔｈＸ－ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ（ＸＲＤ），ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＳＥＭ）ａｎｄｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＴＥＭ）．——ＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔａｌｔｅｒｎａｔｉｏｎｏｆＴｉｒｉｃｈａｒｅａａｎｄＡｌｒｉｃｈａｒｅａｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄａｌｏｎｇｔｈｅｃｒｏｓｓｓｅｃｔｉｏｎ——ｏｆｔｈｅｓｈｅｅｔｄｕｅｔｏｄｅｖｉａｔｉｏｎｏｆｓａｔｕｒａｔｅｄｖａｐｏｕｒｐｒｅｓｓｕｒｅｂｅｔｗｅｅｎＴｉａｎｄＡｌｅｌｅｍｅｎｔ，ａｎｄｔｈｅａｓｄｅ——℃ｐｏｓ．ｉｔｅｄｓａｍｐｌｅｉｓｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆ２一Ｔｉ３Ａ１，７－ＴｉＡ１ａｎｄｒＴｉＡ１２ｐｈａｓｅｓ．Ａｆｔｅｒａｎｎｅａｌｅｄａｔ６５０９５０ｆｏｒ２４ｈ。ｏｂｖｉｏｕｓｉｎｔｅｒｆａｃｉａｌｒｅｄｕｃｔｉｏｎａｎｄｇｒａｉｎｃｏａｒｓｅｎｉｎｇａｐｐｅａｒｗｉｔｈｔｈｅｄｉｆｆｕｓｉｏｎｏｆＡ１ｉｎｔｏＴｉ，ｌｅａｄｉｎｇｔｏｏｒｄｅｒｅｄｐｈａｓｅｓｒｅｄｕｃｅ．Ｔｈｅｂｒｅａｋｄｏｗｎｏｆｌａｙｅｒｅｄｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｉｎｄｕｃｅｄｂｙｐｏｒｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ｇｒａｉｎｇｒｏｗｔｈａｎｄｇｒａｉｎｂｏｕｎｄａｒｙｇｒｏｏｖｉｎｇ．—Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＥＢ－ＰＶＤ；ＴｉＡｌｂａｓｅｄａｌｌｏｙ；ｓａｔｕｒａｔｅｄｖａｐｏｒｐｒｅｓｓｕｒｅ；ｍｉｃｒｏｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ；ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｓｔａｂｉｌｉｔｙ℃在６５０～８５０温度区间，基于能替代Ｎｉ基高温合金的轻量化选材要求，ＴｉＡ１合金薄板在高超声速飞行器热防护系统中的应用已纳入未来欧洲航空运输研究计划。ＴｉＡ１合金耐高温、比强度和比刚度高、弹性模量、抗蠕变性能均比Ｔｉ合金优异而与Ｎｉ基高温合金相当，被认为是航空航天推进系统高温结构部件９０材料工程２０１６年１月的重要候选材料，在航空发动机低压涡轮叶片、旋流器以及航天飞机的蒙皮等高温部件上具有广泛的应用前景，同时也是汽车发动机用增压涡轮和排气阀等零件的理想材料ｌ２］，但ＴｉＡｌ合金的本征脆性使得制备大尺寸超薄ＴｉＡｌ合金薄板的难度很大］。目前，研究较多、工艺较成熟的ＴｉＡｌ合金薄板制备技术，几乎都需要对合金进行以轧制为核心的热加工，如Ｌｉａｎｇ等采用包套热轧工艺制备了ＴｉＡｌ合金薄板，Ｓｈａｇｉｅｖ等＿６采用相同技术制备得到０．４ｍｍ厚的ＴｉＡｌ合金薄板。由于特殊轧制技术工序繁琐，Ｗｅａｖｅｒ等采用铸轧技术实现了ＴｉＡ１合金薄板的制备，铸轧技术是将热轧与传统的铸造技术相结合的一种近净成形技术，其工艺简单、成本低廉，是一种很有潜力的薄板制备技术，ｋ要解决其所制薄板组织粗大、均匀性差、氧含量高等问题。此外，熔融溢流快速固化—技术（ＭｅｌｔＯｖｅｒｆｌｏｗＲａｐｉｄＳｏｌｉｄＫｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＭＯＲｓＴ）也用来制备组织均匀、细小且致密度与强度较高的ＴｉＡｌ合金薄板，ＭＯＲＳＴ制备的产物纯净、组织性能良好且成本较低，但室温塑性通常较差［８］。常用于ｒｒｉＡｌ合金板制备的普通轧制工艺，包括粉末活化（ＲｅａｃｔｉｖｅＰｏｗｄｅｒ，ＲＰ）＿ｇ和箔片活化（ＲｅａｃｔｉｖｅＦｏｉｌ，ＲＦ）＿】。＿两种方法。ＲＰ法制备ＴｉＡｌ合金板是一个由扩散控制、生成ｒｒｉＡｌ。和ＴｉＡｌ等中间相的复杂过程。由于Ｔｉ，Ａ１两元素的扩散系数相差很大，在无压烧结时由于扩散形成的孔洞会产生大幅度的体积膨胀，因此必须利用热压、热等静压等加压烧结方法，抑制体积膨胀，消除孔隙，以提高板材的致密度和力学性能。江盎等＿ｌ】采用低压烧结冷轧Ｔｉ，Ａｌ粉末板坯，制备了ＴｉＡ１合金板材，但其致密度较低。出于降低薄板中氧含量并提高致密度的考虑，ＬＵＯ等口利用ＲＦ法制备—了孔隙率仅为３．４３的单相Ｔ－ＴｉＡ１合金薄板。Ｊａｋｏｂ等利用ＲＦ工艺制备的Ｔｉ一４８．４Ａｌ合金薄板的室温伸长率约为１，抗拉强度可达４００ＭＰａ。Ｄａｖｉｄ等们将叠加的Ｔｉ，Ａｌ箔通过自蔓延高温合成制备ＴｉＡ１合金板材，其抗拉强度达到４６０ＭＰａ。ＲＰ方法的主要缺点在ＲＦ方法中均得到了改善，不过ＲＦ工艺路线的制备成本较高，并且扩散反应比反应烧结获得均匀ＴｉＡ１合金的难度要大得多。为制备用于高超声速飞行器热防护系统金属面板的大尺寸（５００ｍｍ×≤５００ｍｍ）超薄（３００ｆｆｍ）ＴｉＡｌ合—金板材，选用电子束物理气相沉积（ＥｌｅｃｔｒｏｎＢｅａｍＰｈｙｓｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ＥＢ－ＰＶＤ）作为制备方法。作为一种近净成形技术，ＥＢ－ＰＶＤ无需特殊轧制工序，具有沉积速率高、可制备多种结构和几乎任意体系材料、能够避免靶材与坩埚间发生化学反应及坩埚放气污染等优点口引。前期工作曾利用该工艺制备了Ｎｉ基高温合金板、Ｆｅ基合金板等大尺寸板材［１，并制备了以Ｔｉ增韧的ＴｉＡｌ／Ｔｉ微层材料，经过致密化处理的ＴｉＡｌ／Ｔｉ微层材料的室温强度和断裂伸长率分别达到６００ＭＰａ和２．８３＿１。目前国内外针对ＥＢ－ＰＶＤ制备ＴｉＡｌ合金板的研究集中于工艺控制和力学性能，但对利用该工艺制备ＴｉＡｌ合金的微观组织结构形成机理或在高温下微观组织变化特征的研究报道不多。本工作采用ＥＢ－ＰＶＤ工艺制备ＴｉＡ１合金薄板，对其微观组织结构进行了研究，并进行６５０～９５０。Ｃ区间不同温度的退火处理，分析ＴｉＡｌ合金板组成相的形成机理，观察分析材料微观组织结构的变化特征。１实验材料与方法１．１原料及试板制备利用Ｌ５型大功率电子束物理气相沉积设备制备ＴｉＡｌ合金板，靶材为北京航空材料研究院提供的Ｔｉ一４８ＡＩ（原子分数，下同）靶，基板材料为直径ｌｍ的圆形不锈钢（１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ）片，装入真空室前在乙醇与丙酮的混合溶液中超声清洗２０ｍｉｎ。蒸发靶材前先在基板上沉积厚度为１０ｆｆｍ的ＢＮ抗粘接层，以便于沉积结束后合金板从基板上分离。制备工艺参数为：真空≤压强４．６×１０一Ｐａ，束流强度１～２Ａ，基板温度７００Ｃ，基板旋转速率１０ｒａｄ／ｍｉｎ，蒸发时间９０ｒａｉｎ。沉积完毕后，继续保持高真空状态，待基板自然冷却至℃５０以下时，打开真空室，取下材料。试样经裁切后用石英管抽真空封装放入在马弗炉中，分别在６５０，７５０，８５０，９５０。Ｃ４个温度下进行２４ｈ的保温处理。１．２分析测试采用Ｄ／ｍａｘ－ｒＢ自动Ｘ射线衍射仪（ｘＲＤ）测试材料组成相；采用￥４７ｏｏ扫描电子显微镜（ＳＥＭ）进行组织形貌观察；采用Ｈｉｔａｃｈｉ一８１００型透射电子显微镜（ＴＥＭ）对材料横截面进行微观组织观察及物相分析。２结果与讨论２．１制备态样板的微观组织结构图１为ＴｉＡｌ合金板制备态样板的表面显微形貌。靠近基板一侧的ＳＥＭ照片说明沉积层在生长初期存在岛状生长模式。在形成连续膜之前的沟渠阶段，岛与岛聚结后会形成若干无规则沟渠和显微孔洞，后续沉积粒子对这些沟渠和孔洞的填充不完全，使腐蚀液容易在这些部位形成较深的腐蚀坑，因此颗粒形貌不第４４卷第１期电子束沉积ＴｉＡ１合金的微观形貌及组织结构稳定性９５——ＱＩＡＮＪｉｕｈｏｎｇ，ＱＩＸｕｅｚｈｏｎｇ—＊／－ｔｉｔａｎｉｕｍａｌｕｍｉｎｉｄｅａｌｌｏｙｓＥＪ］—２０１２，２６（６）：４７７４８２．ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎａｎｄｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＲａｒｅＭｅｔａｌｓ，Ｅ２］陈玉勇，崔宁，孔凡涛．变形ＴｉＡｌ合金研究进展［Ｊ］．航空材料学报，２Ｏ１４，３４（４）：¨２一¨８．———ＣＨＥＮＹｕｙｏｎｇ，ＣＵＩＮｉｎｇ，ＫＯＮＧＦａｎｔａｏ．ＰｒｏｇｒｅｓｓｏｆｄｅｆｏｒｍｅｄＴｉＡｌａｌｌｏｙｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃａｌＭａｔｅｒｉａｌｓ，２０１４，—３４（４）：１１２１１８．［３］熊华平，毛建英，陈冰清，等．航空航天轻质高温结构材料的焊接—技术研究进展［Ｊ］．材料工程，２０１３，（１０）：１１２．————Ｘ１０ＮＧＨｕａｐｉｎｇ，ＭＡＯＪｉａｎｙｉｎｇ，ＣＨＥＮＢｉｎｇｑｉｎｇ，ｅｔａ１．Ｒｅ—ｓｅａｒｃｈａｄｖａｎｃｅｓｏｎｔｈｅｗｅｌｄｉｎｇａｎｄｊｏｉｎｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｏｆｌｉｇｈｔｍａｓｓｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｍａｔｅｒｉａｌｓｉｎａｅｒｏｓｐａｃｅｆｉｅｌｄ［Ｊ］．—ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，２０１３，（１０）：１１２．［４］ＣＵＩＸＰ，ＦＡＮＧＨ，ＧＥＮＧＬ，ｅｔａ１．Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｆｕｌｌｙｄｅｎｓｅ—ＴｉＡ１一ｂａｓｅｄｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓｈｅｅｔｓｗｉｔｈａｎｏｖｅｌｍｉｃｒｏｌａｍｉｎａｔｅｄｍｉｃｒｏ—ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ［Ｊ］．ＳｃｒｉｐｔａＭａｔｅｒｉａｌｉａ，２０１２，６６（５）：２７６２７９．—［５］ＬＩＡＮＧＸＰ，ＬＩＵＹ，ＬＩＨＺ，ｅｔａ１．ＡｎｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｎｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌａｎｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｐｏｗｄｅｒｍｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌＴｉＡ１——ａｌｌｏｙｄｕｒｉｎｇｈｏｔｐａｃｋｒｏｌｌｉｎｇ［Ｊ］．ＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒ—ｉｎｇ：Ａ，２０１４，６１９：２６５２７３．［６］ＳＨＡＧＩＥＶＭＲ，ＳＥＮＫＯＶＯＮ，ＳＡＬＩＳＨＣＨＥＶＧＡ，ｅｔａＩ．Ｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆａｓｕｂｍｉｃｒｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ—‘———Ｔｉ４７Ａ１３Ｃｒａｌｌｏｙｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙｍｅｃｈａｎｉｃａｌａｌｌｏｙｉｎｇａｎｄｈｏｔｉｓｏ＿ｃｒａｔｉｃｐｒｅｓｓｉｎｇ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｌｌｏｙｓａｎｄＣｏｍｐｏｕｎｄｓ，２０００，３１３——（１２）：２０１２０８．［７］ｗＥＡＶＥＲＭＬ，ＣＡＬＨＯＵＮＣＭ，ＧＡＲＭＥＳＴＡＮＩＨ．Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｔｅｘｔｕｒｅ，ａｎｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙｃａｓｔｇａｍｍａＴｉＡ１［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ，２００２，３７（１２）：——２４８３２４９０．——［８］ＫＵＬＫＡＲＮＩＫＮ，ＳＵＮＹ，ＳＡＣＨＤＥＶＡＫ，ｅｔａ１．Ｆｉｅｌｄａｃｔｉｖａ—ｔｅｄｓｉｎｔｅｒｉｎｇｏｆｂｌｅｎｄｅｄｅｌｅｍｅｎｔａｌ７～ＴｉＡｌｐｏｗｄｅｒｃｏｍｐａｃｔｓ！ｐｏ—ｒｏｓｉｔｙａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｇｒｏｗｔｈｋｉｎｅｔｉｃｓｏｆＡ１３Ｔｉ［Ｊ］．ＳｃｒｉｐｔａＭａｔｅｒｉａ—ｌｉａ，２０１３，６８（１１）：８４１８４４．［９］ＳＨＡＧＩＥＶＭＲ，ｓＡＬＩｓＨｃＨＥＶＣＡ，ＳＥＮＫＯＶＯＮ，ｅｔａ１．ＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＴｉＡ１ｓｈｅｅｔｐａｃｋ－ｒｏｌｌｅｄａｔｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｂｅｌｏｗ℃１０００［Ｊ］．ＭｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓＡ，２００３，—３４（６）：１３２９１３３９．—［１Ｏ］ＷＡＮＧＧ，ＤＡＨＭＳＭ，ＬＥＩＴＮＥＲＧ，ｅｔａ１．Ｔｉｔａｎｉｕｍａｌｕｍｉｎｉｄｅｓｆｒｏｍｃｏｌｄ－ｅｘｔｒｕｄｅｄｅｌｅｍｅｎｔａｌｐｏｗｄｅｒｓｗｉｔｈＡ１ｃｏｎｔｅｎｔｓｏｆ—２５７５ａｔｏ，４ＡＩ［刀．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ，１９９４，２９：１８４７—１８５３．［１１］江壶，贺跃辉，汤义武，等．元素粉末冷轧成形及反应合成制备—ＴｉＡｌ合金板材［Ｊ］．中国有色金属学报，２００４，１４（９）：１５０１１５０７．——儿ＡＮＧＹａｏ，ＨＥＹｕｅｈｕｉ，ＴＡＮＧＹｉｗｕ，ｅｔａ１．Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆ—ＴＩ－Ａｌａｌｌｏｙｓｈｅｅｔｓｂｙｅｌｅｍｅｎｔｐｏｗｄｅｒｃｏｌｄｒｏｌｌｆｏｒｍｉｎｇａｎｄｒｅａｃｔｉｖｅｓｙｎｔｈｅｓｉｓ［Ｊ］．ＴｈｅＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＮｏｎｆｅｒｒｏｕｓＭｅｔａｌｓ，—２００４，１４（９）：１５Ｏ１１５０７．—Ｅｌ２］ＬＵＯＪＧ，ＡＣＯＦＦＶＬ．ＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇｇａｍｍａｂａｓｅｄＴｉＡ１ｓｈｅｅｔｍａｔｅｒｉａｌｓｂｙｃｙｃｌｉｃｃｏｌｄｒｏｌｌｂｏｎｄｉｎｇａｎｄａｎｎｅａｌｉｎｇｏｆｅｌｅｍｅｎｔａｌ—ｔｉｔａｎｉｕｍａｎｄａｌｕｍｉｎｕｍｆｏｉｌｓ［Ｊ］．ＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒ——ｉｎｇ：Ａ，２００６，４３３（１２）：３３４３４２．［１３］ＪＡＫＯＢＡ，ＳＰＥＩＤＥＬＭＯ．ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｆｏｉｌｍｅｔａｌｌｕｒｇｙｔｅｃｈｎｉｑｕｅｆｏｒｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆＡｌ［Ｊ］．ＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄ—Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９９４，１０（１０）：８４５８４７．—［１４］ＤＡＶＩＤＥＡ，ＪＥＦＦＲＥＹＡＨ，ＡＲＴＨＵＲＶＰ，ｅｔａ１．Ｐｒｏｃｅｓｓ——ｉｎｇｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｃｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓｂｙｓｅｌｆｐｒｏｐａｇａｔｉｎｇ，ｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａ—ｔｕｒｅｓｙｎｔｈｅｓｉｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭｅｔａｌｓ，１９９４，４６（１）：３１３５．—［１５］孙彦波，马凤梅，肖文龙，等．ＴｉＡ１系金属间化合物基叠层结构材料的制备技术与组织性能特征［Ｊ］．航空材料学报，２０１４，３４—（４）：９８１１１＿——ＳＵＮＹａｎｂｏ。ＭＡＦｅｎｇｍｅｉ，ＸＩＡ０Ｗｅｎ－ｌｏｎｇ，ｅｔａ１．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ——ａｎｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｆｏｒｍｕｈｉｌａｙｅｒｅｄＴｉ－ＡＩｉｎｔｅｒｍｅ－ｔａｌｌｉｃｓａｌｌｏｙｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃａｌＭａｔｅｒｉａｌｓ，２０１４，３４—（４）：９８１ｌ１．［１６１ＳＵＮＪＹ，ＰＥＩＹＬ，ＬＩＳＳ，ｅｔａ１．Ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｉｎｄｕｃｔｉｌｉｔｙｏｆ—ｈｉｇｈｓｔｒｅｎｇｔｈｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＮｉｒｉｃｈＮｉａＡ１ａｌｌｏｙｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙ—ＥＢＰＶＤ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｌｌｏｙｓａｎｄＣｏｍｐｏｕｎｄｓ，２０１４，６１４—（２５）：１９６２０２．—［１７］ＬＩＮＸ，ＬＩＭＷ，ＺＨＯＮＧＹＳ，ｅｔａ１．Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｈａｒｄｎｅｓｓｏｆｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｆｅｒｒｉｔｉｃ０ＤＳａｌｌｏｙｆｏｉｌｗｉｔｈｈｉｇｈｏｘｉｄｅｃｏｎｔｅｎｔｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｙＥＢＰＶＤ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＳｕｒｆａｃｅＳｃｉｅｎｃｅ，—２０１３，２８４（１）：６７９６８２．［１８１ＭＡＬ，ＷＡＮＧＨＢ，ＨＵＺＨ．Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓａｎｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐ—ｅｒｔｙｅｖａｌｕａｔｉｏｎｏｆＴｉＴｉＡ１ｍｅｔａｌｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｃｍｉｃｒｏｌａｍｉｎａｔｅ—ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ［Ｊ］．ＡｄｖａｎｃｅｄＭａｔｅｒｉａｌｓＲｅｓｅａｒｃｈ，２０１０，９７１０１：—１６９３１６９６．［１９１ＳＴＯＷＥＬＬＷＲ．Ｓｉｎｇｌｅｓｏｕｒｃｅｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎｏｆａｎｉｏｂｉｕｍｂａｓｅｄａｌｌｏｙｃｏｎｔａｉｎｉｎｇｖｏｌａｔｉｌｅｃｏｎｓｔｉｔｕｅｎｔｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＶａｃｕｕｍ—ＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９７３，１０（４）：４８９４９３．—［２Ｏ］ＭＯＶｃＨＡＮＢＡ，ＭＡＲＩＮｓＫＩＧＳ．Ｇｒａｄｉｅｎｔｐｒｏｔｅｃｔｉｖｅｃｏａｔ—ｉｎｇｓ０ｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙＥＢＰＶＤ［ｊ］．Ｓｕｒｆａｃｅ—ａｎｄＣｏａｔｉｎｇｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９９８，ｉ００一１０１（４）：３０９３１５．［２１］曾岗，李明伟，张庆茂，等．ＴｉＡ１合金的电子束蒸发行为［Ｊ］．稀—有金属材料与工程，２００７，３６（１０）：１７５９１７６２．——ＺＥＮＧＧａｎｇ，ＬＩＭｉｎｇ－ｗｅｉ，ＺＨＡＮＧＱｉｎｇｍａｏ，ｅｔａ１．ＴｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎｂｅｈａｖｉｏｒｓｏｆＴｉＡ１ａｌｌｏｙｓ［Ｊ］．ＲａｒｅＭｅｔａｌ—ＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，２００７，３６（１０）：１７５９１７６２．［２２］ＲＥＤＤＹＡＲＧ，ＹＡＨＹＡＡＭ，ＢＲＥＷＥＲＬ．Ｔｈｅｒｍｏｄｙｎａｍｉｃ—ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＴｉＡ１ｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｃｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｌｌｏｙｓａｎｄ—Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ，２００１，３２１（２）：２２３２２７．—［２３］ＫＮＯＥＤＬＥＲＨＬ，ＬＵＣＡＳＧＥ，ＬＥＶＩＣＧ．Ｍｏｒｐｈｏｌ０ｇｉｃａｌｓｔａ—ｂｉｌｉｔｙｏｆｃｏｐｐｅｒ－ｓｉｌｖｅｒｍｕｈｉｌａｙｅｒｔｈｉｎｆｉｌｍｓａｔｅｌｅｖａｔｅｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓ［Ｊ］．ＭｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓＡ，２００３，３４—（５）：１０４３１０５４．基金项目：广东石油化工学院人才引进项目（６５０１１９）；广东省茂名市科技计划项目（９１５３２５）；浙江省台州市科技计划项目（１４ＧＹ０２）；浙江省科技厅公益性技术应用研究计划资助项目（２０１４Ｃ３７０８５）；国家自然科学基金资助项目（５１４０４１５７）———收稿日期：２０１４１２１９；修订日期：２０１５－０３３１通讯作者：王古平（１９７６一），男，高级实验师，硕士，从事高温结构材料微观组织结构的研究，联系地址：浙江省台州市椒江区市府大道ｕ３９号台—州学院物理与电子工程学院（３１８０００），Ｅｍａｉｌ：ｇｐｗａｎｇ５２６＠１２６．ｃｏｒｎ