多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响.pdf

　５８　　　　　　材料工程／２０１１年１２期　　　　　多光子纳米加工中激光扫描条件对　　　　金属微纳结构的影响　　　　　　　　ＥｆｆｅｃｔｓｏｆＬａｓｅｒＳｃａｎｎｉｎｇＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｎＭｅｔａｌｌｉｃ　　　　　　Ｍｉｃｒ０／ＮａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｉｎＭｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎＮａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ靳　　　　　　　　伟，董贤子，赵震声，段宣明　　　　　　　　　　　　（１中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室，　　　　　　　　　　　北京１００１９０；２中国科学院研究生院，北京１００１９０）　　　　　—　　—　　—　ＪＩＮＷｅｉ，ＤＯＮＧＸｉａｎｚｉ，ＺＨＡＯＺｈｅｎｓｈｅｎｇ，ＤＵＡＮＸｕａｎｍｉｎｇ　　　　　　　　　（１ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＦｕｎｃｔｉｏｎａｌＣｒｙｓｔａｌｓａｎｄＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，　　　　　ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００１９０，Ｃｈｉｎａ；　　　　　　　　　２ＧｒａｄｕａｔｅＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ．Ｂｅｉｊｉｎｇ１Ｏ０１９０。Ｃｈｉｎａ）　　　　　　　　　　　　　　摘要：研究了飞秒激光多光子还原制备银微纳结构技术中激光扫描条件对金属微纳结构与形貌的影响。结果表明：增　　　　　　　　加激光扫描点间距ｄ可获得较小线宽，延长曝光时间ｔ使线条变宽，增加扫描次数Ｎ可使金属微纳结构表面银纳米粒子　　　　　　　熔融凝固成较大尺寸颗粒及块状物。　　　　　　关键词：多光子纳米加工；多光子光化学还原；金属微纳结构　　中图分类号：ＴＮ２０３　　文献标识码：Ａ　——　文章编号：１００１４３８１（２０１１）１２－００５８０５　　　　　　　　　　　—　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｓｏｆｌａｓｅｒｓｃａｎｎｉｎｇｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｎｔｈｅｓｉｌｖｅｒｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｉｎｍｕｌｔｉｐｈｏ　　　　　　　　　　　—　ｔｏｎｐｈｏｔｏｒｅｄｕｃｔｉｏｎｏｆｍｅｔａｌｌｉｃｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｎｄｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｕｓｉｎｇｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｗｅｒｅｉｎ　　　　　　　　　　　　　ｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｄｔｈａｔｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｔｈｅｄｉｓｔａｎｃｅｂｅｔｗｅｅｎｓｃａｎｎｉｎｇｐｏｉｎｔｓ（）ｃｏｕｌｄｍａｋｅ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　—　ｔｈｅｗｉｄｔｈｏｆｌｉｎｅｓｂｅｃｏｍｅｓｍａｌｌｅｒａｎｄｅｘｔｅｎｄｉｎｇｔｈｅｅｘｐｏｓｕｒｅｏｆｔｉｍｅ（）ｃｏｕｌｄｍａｋｅｔｈｅｌｉｎｅｓｂｒｏａｄｅ　　　　　　　　　　　　ｎｉｎｇ．Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｏｆｓｃａｎｎｉｎｇｔｉｍｅｓ（Ｎ）ｌｅｄｔｏｔｈｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｌａｒｇｅｓｉｌｖｅｒｐａｒｔｉｃｌｅｓ　　　　　　　　　　　　　　　　　　ａｎｄｌｕｍｐｓｏｎｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｄｕｅｔｏｔｈｅｆｕｓｉｏｎｏｆｓｉｌｖｅｒｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓｗｈｉｃｈｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｍｅｔａｌｌｉｃ　ｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ．　　　　　Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ；ｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎｐｈｏｔｏｒｅｄｕｃｔｉｏｎ；ｍｅｔａｌｌｉｃｍｉｃｒ０／ｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　　　　　　　　　　　　作为激光直写加工技术之一的多光子加工技术近　　　　　　　　　　年来获得了飞速的发展口］。多光子加工技术是基于光　　　　　　　　　　　　　　　　　　学非线性效应之一的多光子吸收原理，利用多光子吸　　　　　　　　　　　　收具有阈值效应这一特点，通过加工激光功率的控制，　　　　　　　　　　　　　　使所加工材料产生多光子吸收的范围控制在亚波长范　　　　　　　　　　　　　　　围，从而达到实现纳米尺度加工的目的。ＫａｗａｔａＳＥ］　　　利用波长为８００ｎｍ的近红外飞秒激光作为加工光源，　　以光刻胶作为加工对象材料，首次突破衍射极限，实现　　　　　　　　　　　　　　　　亚波长尺度加工以来，多光子纳米加工技术受到广泛　　　　重视，国内外科学家开展了大量的研究工作，已实现了　　　“　　　　　　　　５０ｎｍ的加工分辨率［３］。与此同时，多光子纳米加工　技术所具备的三维微纳结构加工能力，使其在三维微　　　　　　纳器件［５］，微纳机电系统＿７］，微纳流控系统［９等微　　纳技术领域具有独特的优势与应用前景。　　　　　　　　　　进行功能材料的多光子微纳结构加工是实现功能　　　　　　　　　　　　　　　　　性微纳器件的关键所在。目前，在利用光刻胶制备各　　　　　　　　　　　　　　　种二维及三维微纳结构的同时，也开展了基于聚合物　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　材料的各种功能性三维微纳结构的多光子加工研　　　　　　　　　　　　　　　　　　究［１］，已制备出了各种光子学器件口。和微流控　　　　　　　　　　　　　　　　　　系统口。利用多光子纳米加工技术制备金属微纳　　　结构的研究也受到了重视，已利用双光束干涉多光子　　　光化学还原加工技术制备出了金纳米线阵列结构口，　　　　　　　　　　　利用激光扫描多光子光化学还原加工技术制备出了金　　　　　　　　　　　　　　　　属银门形结构和倾斜立圆柱等微尺度三维结构口］。　　　　　　　　　　　　　曹耀宇Ｌ２等在ＡｇＮＯ。水溶液中加入表面活性剂控　　　　　　　　　　　　　　　　　制金属银纳米粒子尺寸，通过激光扫描多光子光化学　　　　还原加工技术获得了线宽１２０ｎｍ的银纳米线结构，并　　　　　　　　制备出了直径为１８０ｎｍ的银柱和三维金字塔结构。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　上述金属微纳结构均是由连续的金属纳米粒子所组　　　　　　　　　　　　　　　　　成，其松散的结构可能导致微结构力学性能及电学性　　　多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响　５９　　　　能的降低。通过激光加工条件的优化，有可能使金属　　微纳结构获得进一步的改善，提高其力学及电学等特　　　　　　　　　　　　　　　性。但是，目前尚未对激光扫描多光子光化学还原加　　　　　　　　　　　　工技术中激光扫描条件对金属微结构的尺度与形貌的　　影响进行详细研究。本工作采用逐点扫描的方式研究　　　　　　　　　　　　　　　了多种激光扫描条件对金属微纳结构的影响，探讨了　激光扫描多光子光化学还原加工技术制备金属微纳结　　　　　　　　　　　　构中激光加工条件对金属微纳结构尺寸与形貌的影响　　　与控制。　　　１实验　　　　　　　　　　由硝酸银与氨水生成的银氨络离子水溶液作为光　　化学还原金属银的前驱体，样品中加入乙醇，添加柠檬　　　　　　　　　　　　　　　　　　酸钠（Ｎａ。ＣＨＯ）作为表面活性剂以达到对多光子　　　　　　　　　　　　光化学还原反应所获得的金属银纳米粒子尺寸进行控　　　　　　　　　　　　　制的目的，加入对一Ｎ，Ｎ一二甲基苯乙烯基吡啶对甲苯　　——　磺酸盐（ｔｒａｎｓ一４一［４－（ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏ）一Ｎｍｅｔｈｙｌｓｔｉｌｂａ—　ｚｏｌｉｕｍ￣Ｐｔｏｓｙｌａｔｅ，ＤＡＳＴ）作为光敏剂以提高样品双　光子吸收效率。样品制备中所使用的化学原料均为化　　　　　　　　　　　　　　　　　学纯试剂，使用前未进行处理。将上述原料按表１所　　　　　　　　　　　　　　　　　　　示进行化学计量，混合后获得银氨络离子浓度为　　０．０７ｍｏｌ／Ｌ，脂肪酸钠的浓度为０．０９ｍｏｌ／Ｌ的水溶液作　为进行多光子光化学还原制备金属微粒结构的样品。　　　表１样品的组成　　　　　　　Ｔａｂｌｅ１Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｏｆｔｈｅｓａｍｐｌｅ　　　　　　　　　利用自主研制的《纳米光子学超细微加工系统》进　行多光子光化学还原金属微纳结构制备实验＿５］。该系　　　　统采用波长为７８０ｎｍ，重复频率为８０ＭＨｚ，脉冲宽度　　　　　　　　——　为ｌＯＯｆｓ的钛宝石飞秒激光器（ＳｐｅｃｔｒａＰｈｙｓｉｃｓ，Ｔｓｕ　　　　　　　　　　　　　　　ｎａｍｉ）作为多光子激光加工用光源。激光束经显微物镜（１００×　１．４）聚焦后，入射到盛有上述含有银氨络离　　　子水溶液的玻璃样品池内部，以进行多光子还原反应，　　　制备金属微纳结构。实验中使用二维振镜（Ｓｃａｎｌａｂ，　　　　　　　　　　　　ＨｕｒｒｙＳＣＡＮ１４）及一维Ｚ轴压电微移动台（ＰＩ，Ｐ一　　６２２．ＺＣＬ）对激光焦点位置进行控制，采用逐点扫描方　　　　式＿３进行金属微纳结构制备。当入射到样品池中的激　　光能量超过一定阈值时，激光焦点处出现被还原的银　　　纳米颗粒，在激光焦点位于样品池玻璃表面时，所还原　　　　　　　　　　　　　　　　出的银纳米粒子被沉积在样品池玻璃表面，形成金属　　　　　　　　　　　　银微纳结构。本研究中所使用的激光束在进入显微物　　　　　　　　　　　镜前的平均功率均为４ｒｏＷ。激光加工实验完成后，用　　　　　　　　　　　　　　乙醇对样品进行冲洗，去除未反应的样品后即可得到　　　　　　　　　　　所制备的金属银微纳结构。采用扫描电子显微镜对所　　　　　　　　　　　　　　　制备的金属银微纳结构进行形貌观察，并测量金属银　　微纳结构的相关数据；利用计算机程序控制激光焦点　　　　　　　　　　　　　　及扫描条件，以考察激光扫描点间距（ｄ），激光扫描点　　　　　　　　　　　　　　　曝光时间（￡）以及激光扫描次数（Ｎ）等加工参数对金　　　　　　属银微纳结构的影响。　　　２结果与讨论　　　　　　　　　　　　２．１逐点扫描点间距ｄ对金属银微纳结构的影响　　　　　　　　　　　固定每一扫描点的曝光时间ｔ为ｌｇｍｓ，在扫描点　　　　　　　　　　　　　间距ｄ为１７，２Ｏ，２３，２７ｎｍ的条件下进行一次激光扫　　　　　描，以获得金属银线。加工后所获得的金属银线的扫　　　　　　　　　　　　　　　描电镜照片如图１所示。可以看出，所获得的金属银　　　　　　　　　　　　　　线由尺寸数十纳米的金属银纳米粒子组成，其表面形　　　貌相似。图２为金属银线的线宽与激光扫描点间距ｄ　　　　　　　　　　　　　　的关系图，可以看出，金属银线的平均线宽随激光扫描　　　　　　　　　　　　　　　　点间距ｄ的增加而呈线性减小，从ｄ一１７ｎｍ时的　　　　　　　　５０７ｎｍ，逐步减小到ｄ＝＝＝２７ｎｍ时的４４５ｎｍ。在加工相　　　　　　　　　　　　　　　　　同长度金属银线时，进行单位长度所需激光扫描的总　　　　　　　　　　　　　曝光时间随激光扫描点间距ｄ不断增大而减小，即曝　　　　　　　　　　　　　　　光量随激光扫描点间距ｄ增大而减小，所能够还原出　　　　　　　　　　　　　　的金属银的原子数亦随之不断减小，导致金属银纳米　　　　　　　　　　　粒子的沉积量减小。激光束通过多光子光化学还原反　　　　　　　　　　　　　应在水溶液中所获得的金属银纳米粒子受到激光束的　　光压作用而聚集，沉积为金属银线。在激光扫描点间　　　　　　　　　　　　　　距ｄ增大的情况下，溶液中被还原出的金属银纳米粒　　　　　　　　　　　　　　　　子数量较少，导致在激光束作用下沉积出的金属银线　　　线宽减小。　　　　　　　　　　　　　２．２逐点扫描曝光时间ｔ对金属银微纳结构的影响　　　　　　　　　　　　　　　采用固定激光扫描点间距ｄ，改变每一扫描点曝　　　　　光时间ｔ的方法，考察了所制备的金属银线的线宽及　　　　　　　　　形貌。图３是在固定激光扫描点间距ｄ为２３ｎｍ时，　　　　　　　　　　　　　　采用不同曝光时间ｔ所获得的金属银线的ＳＥＭ照片。　　　可以看出，随着每一扫描点曝光时间ｔ的延长所还原　　出的金属纳米粒子的数量有较大幅度的增加，金属银　　　　　　　　　　　　　线的线宽亦随之变宽。同时，随着曝光时间ｔ的增加，　　　所制备出的金属银线的致密程度增加。图４是金属银　　　　　　　　　　　　　　　　　　线线宽与曝光时间ｔ之间的关系。可知，金属银线的　　　线宽随曝光时间ｔ的增加呈线性增加趋势。在曝光时　　　　　　　　　　　　间一１２ｍｓ时，金属银线的线宽为３１８ｎｍ。而当曝光　　　　　　　　　　　时间ｔ延长到２１ｍｓ时，金属银线线宽达到４７９ｎｍ。以　６２　　　材料工程／２０１１年１２期　亘＼　　ｅ－　董　言　曼　［１１］　［１２］　［１３］　　　　　　　图６金属银线线宽与Ｎ之间的关系　　　　　　　　　　　Ｆｉｇ．６Ｒｅ１ａｔｉｏｎｓｈｉｐｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｗｉｄｔｈａｎｄＮ。ｆｓｉｌｖｅｒｌｉｎｅｓ　Ｅ１４］　　　　　　　　　　　　为较大的颗粒及块状物。可作为金属纳米粒子聚集体　　　　　　　　　　　　　　　　　的激光后处理技术进行应用，获得微纳尺度连续金属　＿１［］　Ｌ　Ｊ　结构，以提高其强度和导电性等性能。　［１］　［２］　［３］　［４］　Ｅ５］　［６］　［７］　［８］　［９］　［１０２　参考文献　　　　　　　　　董贤子，陈卫强，赵震声，等．飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术　　—　及其应用［Ｊ］．科学通报，２００８，５３（１）：１１３．　　　　　　　　　　　ＫＡＷＡＴＡＳ，ＳＵＮＨＢ，ＴＡＮＡＫＡＴ，ｅｔａ１．Ｆｉｎｅｒｆｅａｔｕｒｅｓｆｏｒ　—　　　　　　ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｍｉｃｒｏｄｅｖｉｃｅｓｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｓｃａｎｂｅｃｒｅａｔｅｄｗｉｔｈｈｉｇｈｅｒ　　—　　ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｕｓｉｎｇｔｗｏｐｈｏｔｏｎａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｎａｔｕｒｅ，２００１，４１２—　　（６８４８）：６９７６９８．　　　　　　　　　董贤子，段宣明．双光子三维微结构快速制备技术［Ｊ］．光学精密　　—　工程，２００７，１５（４）：４４１４４６．　　　　　　　　　　　ＤＯＮＧＸＺ，ＺＨＡ０ＺＳ，ＤＵＡＮＸＭ．Ｉｍｐｒｏｖｉｎｇｓｐａｔｉａｌｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ　　　　　　　—　ａｎｄｒｅｄｕｃｉｎｇａｓｐｅｃｔｒａｔｉｏｉｎｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎｎａｎｏｆａｂｒｉ　　　ｃａｔｉｏｎ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００８，９２（９）：Ｏ９１１１３一　Ｏ９１１１３．３．　　　　　　　—　ＧＵ０ＨＣ，ＪＩＡＮＧＨＢ，ＹＡＮＧＨ０ＮＧ，ｅｔａ１．Ｍｉｃｒｏｇｒａｔｉｎｇｐｏｌｙ　　　　　　　　　　ｍｅｒｉｚａｔｉｏｎｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｗｉｔｈａｓｉｎｇｌｅｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｐｕｌｓｅａｔ　　　　４００ｎｍｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ［Ｊ］．ＣｈｉｎｅｓｅＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００３，２０（５）：６８２——　６８４．　　　　　　　　　　潘恩亚，蒲念文，董玉平，等．双光子吸收光致聚合技术应用于微　—　元件制作之研究［Ｊ］．中正领学报，２００５，３４（１）：５７７４．　　　　　　　　　　　—　Ｄ０ＮＧＸＺ，ＺＨＡ０ＺＳ，ＤＵＡＮＸＭ．Ｍｉｃｒｏｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉ０ｎｏｆａｓ　—　　　　　　　ｓｅｍｂｌｅｄｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｂｙｄｅｓｉｇｎａｂｌｅｍｕｌｔｉｐｌｅ　　　　　　ｂｅａｍｓｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＩｅｔｔｅｒｓ，２００７，—　　９１（１２）：１２４１Ｏ３１２４１０３．３．　　　　　　　ＭＡＲＵ０Ｓ，ＩＫＵＴＡＫ，ＫｏＲｏＧＩＨ．Ｓｕｂｍｉｃｒｏｎｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎ　　　　　　　　　ｔｏｏｌｓｄｒｉｖｅｎｂｙｌｉｇｈｔｉｎａｌｉｑｕｉｄ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００３，—　　８２（１）：１３３１３５．　　　　—　—　ＣＯＥＮＪＡＲＴＳＣＡ，ＯＢＥＲＣＫ．Ｔｗｏｐｈｏｔｏｎｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ　　—　ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｐｏｌｙ（ｄｉｍｅｔｈｙｌｓｉｌｏｘａｎｅ）ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ［Ｊ］．Ｃｈｅｍ　　　—　　ｉｓｔｒｙｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓ，２００４，１６（２６）：５５５６５５５８．　　　　　　　　　ＳＵＮＺＢ．Ｄ０ＮＧＸＺ。ＣＨＥＮＷＱ．ｅｔａ１．Ｍｕｌｔｉｃｏｌｏｒｐｏｌｙｍｅｒ　　　　　　　　　ｎａｎｏｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ：ｉｎｓｉｔｕｓｙｎｔｈｅｓｉｓａｎｄｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆ３Ｄｍｉｃｒｏ　—　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ［Ｊ］．ＡｄｖａｎｃｅＭａｔｅｒｉａｌｓ，２００８，２０（５）：９１４９１９．　［１６］　　［１７］　［１８］　［１９］　［２ｏ］　［２１］　［２２］　　　　　　　　　　ＹＡＱ，ＣＨＥＮＷＱ，ＤＯＮＧＸＺ，ｅｔａ１．Ｄｕａｌｐｈｏｔｏｎｉｃｂａｎｄｇａｐ　　　　　　　　　　ａｎｄｒｅｖｅｒｓｉｂｌｅｔｕｒｆｉｎｇｏｆ３Ｄｐｈｏｔｏｎｉｃｃｒｙｓｔａｌｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｙｍｕｌ　　　　—　ｔｉｐｈｏｔｏｎｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎｗｉｔｈｐｈ。ｔ。ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅｐｏｌｙｍｅｒ［Ｊ］．Ａｐ　　　—　　ｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＡ，２００８，９３（２）：３９３３９８．　　　　　　　—　ＸＩＯＮＧＺ，ＤＯＮＧＸＺ，ＣＨＥＮＷＱ，ｅｔａ１．Ｆａｓｔｓｏｌｖｅｎｔｄｒｉｖｅｎ　　　—　—　ｍｉｃｒｏｐｕｍｐｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｙｔｗｏｐｈｏｔｏｎｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ［Ｊ］．Ａｐ　　　　　　ｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＡ，２００８，９３（２）：４４７４５２．　　　　　　　　　—　　ＳＵＮＺＢ，ＤＯＮＧＸＺ，ＮＡＫＡＮＩＳＨＩＩＳ，ｅｔａ１．Ｌｏｇｐｉｌｅｐｈｏｔｏｎｉｃ　　——　　　　　—　ｃｒｙｓｔａｌｏｆＣｄＳｐｏｌｙｍｅｒｎａｎｏｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｙｃｏｍｂｉｎａ。　　—　　　　　—　ｔｉｏｎｏｆｔｗｏｐｈｏｔｏｎｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎａｎｄｉｎｓｉｔｕｓｙｎｔｈｅｓｉｓ［Ｊ］．Ａｐ　　—　　　　ｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＡＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ８ＬＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，２００７，８６（４）：—　　４２７４３１．　　　　　　　　　　—　ＫＡＮＥＫ０Ｋ，ＳＵＮＨＢ，ＤＵＡＮＸＭ，ｅｔａ１．Ｓｕｂｍｉｃｒｏｎｄｉａｍｏｎｄ　　　　　——　　——　ｌａｔｔｉｃｅｐｈｏｔｏｎｉｃｅｌ。ｙｓｔａｌｓｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙｔｗｏｐｈｏｔｏｎｌａｓｅｒｎａｎｏｆａｂ　　　ｒｉｃａｔｉｏｎ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００３，８３（１１）：２０９１　２０９３．　　　　　　　　—　—　ＳＥＥＴＫＫ，ＭＩＺＥＩＫＩＳＶ，ＪＵＯＤＫＡＺＩＳＳ，ｅｔａ１．Ｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎ　　　　　　　　　ｓｉｏｎａｌｈｏｒｉｚｏｎｔａｌｃｉｒｃｕｌａｒｓｐｉｒａｌｐｈｏｔｏｎｉｃｃｒｙｓｔａｌｓｗｉｔｈｓｔｏｐｇａｐｓ　　　　　ｂｅｌｏｗ１／，ｍ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００６，８８（２２）：２２１ｉ０１　２２１１０１．３．　　　　　　　　　　ＭＡＲＵＯＳ，ＩＮＯＵＥＨ．Ｏｐｔｉｃａｌｌｙｄｒｉｖｅｎｍｉｃｒｏｐｕｍｐｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙ—　—　　　ｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｔｗｏｐｈｏｔｏｎｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ［Ｊ］．Ａｐｐｌｉｅｄ　　　　ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００６，８９（１４）：１４４１０１１４４１０１．３．　　　　　　ＧＡＩＡＪＤＡＰ，ＯＲＭＡＯＳＰ．Ｃｏｍｐｌｅｘｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｓｐｒｏｄｕｃｅｄ　　　　　　ａｎｄｄｒｉｖｅｎｂｙｌｉｇｈｔ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００１，７８（２）：—　　２４９２５１．　　　　　　　　　—　　ＫＡＮＥＫＯＫ，ＳＵＮＨＢ，ＤＵＡＮＸＭ，ｅｔａ１．Ｔｗｏｐｈｏｔｏｎｐｈｏｔｏ　　　　　　　　　　ｒｅｄｕｃｔｉｏｎｏｆｍｅｔａｌｌｉｃｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｇｒａｔｉｎｇｓｉｎａｐｏｌｙｍｅｒｍａｔｒｉｘ　　—　［Ｊ］．ＡｐｐｌＰｈｙｓＬｅｔｔ，２００３，８３（７）：１４２６１４２８．　　　　　　　　　　　ＩＳＨＩＫＡＷＡＡ，ＴＡＮＡＫＡＴ，ＫＡＷＡＴＡＳ．Ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｉｎｔｈｅ　　　　　　　　—　ｒｅｄｕｃｔｉｏｎｏｆｓｉｌｖｅｒｉｏｎｓｉｎａｑｕｅｏｕｓｓｏｌｕｔｉｏｎｕｓｉｎｇｔｗｏｐｈｏｔｏｎ　　　　　ｓｅｎｓｉｔｉｖｅｄｙｅ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＩｅｔｔｅｒｓ，２００６，８９（１１）：１１３１０２—　１１３１０２．３．　　　　　　———　ＴＡＮＡＫＡＴ，ＩＳＨＩＫＡＷＡＡ，ＫＡＷＡＴＡＳ．Ｔｗｏｐｈｏｔｏｎｉｎ　　　　　　　　　　ｄｕｃｅｄｒｅｄｕｃｔｉｏｎｏｆｍｅｔａｌｉｏｎｓｆｏｒｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ　　　　　ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｍｅｔａｌｌｉｃｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ［Ｊ］．Ａｐｐｌｉｅｄ　—　　ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ，２００６，８８（８）：０８１１０７０８１１０７．３．　　　　　　　　ＣＡ０ＹＹ，ＴＡＫＥＹＡＳＵＮ，ＴＡＮＡＫＡＴ，ｅｔａＩ＿３Ｄｍｅｔａｌｌｉｃ　　　—　——　ｎａｎｏｓｔｒｕｅｔｕｒｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｂｙｓｕｒｆａｃｔａｎｔ。ａｓｓｉｓｔｅｄｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎ。ｉｎ＿　—　ｄｕｃｅｄｒｅｄｕｃｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｓｍａｌｌ，２００９，５（１０）：１１４４１１４８．　　　　　　　　　　　ＣＡＯＹＹ，ＤＯＮＧＸＺ，ＴＡＫＥＹＡＳＵＮ，ｅｔａ１．Ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄ　　　　　　　—　ｓｉｚｅｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅｏｆｓｉｌｖｅｒｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｉｎｆａｔｔｙｓａｌｔｓａｓｓｉｓｔｅｄ　　　　　ｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎｐｈｏｔ（）ｒｅｄｕｃｔｉ。ｎｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ［Ｊ］．ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓ　　—　ｉＣＮＡ，２００９，９６（２）：４５３４５８．　　　　　　　基金项目：９７３计划资助项目（２０１０ＣＢ９３４１０３）；国家自然科学基金资助　　项目（５０７７３０９１，６Ｏ９Ｏ７Ｏ１９，５０９７３１２６，６１Ｏ７７Ｏ２８）　　—　　—　收稿日期：２０１１－０２２８；修订日期：２０１１－０８１１　　　　　　　　作者简介：靳伟（１９８２一）．男，博士研究生，主要从事激光微纳加工和金　　　　　　　　　　　　　　　　属纳米结构研究，联系地址：北京市海淀区中关村东路２９号北京市　　—　２７１１信箱５４分箱（１００１９０），Ｅｍａｉｌ：ｊｉｎｗｅｉ＠ｍａｉｌ．ｉｐｃ．ａｅ．ｃｎ